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[发布日期:2020-12-07 14:19:38] 点击:


 

  截断晶体从单晶炉里chu来之后,第一bu就是截掉头尾。

  直jing滚mo在晶体sheng长guo程中,整个晶体长度中是有偏cha的,晶圆制造guo程中有ge种ge样的晶圆固定器he自动设备,需要yan格的直jing控制以减少晶圆qiaoquhe破sui。直jing滚mo是在一个无中xin的滚mo机shang进xing的机械操作。

  晶体定向、电导lvhe电阻lv检查要que保晶体是否da到定向he电阻lv的gui格要求。晶体定向是由Xshe线衍she或者平xingguang衍she来que定的,晶体的一端被fu蚀或抛guang来去除损伤层,再将晶体安放到衍she仪shang,X涉嫌或平xingguangfanshe晶体表面到chengxiang板shang,从而可以看到晶体的晶向。晶bang黏放在一个切ge块shang来保zheng晶圆从晶体正que的晶向切ge。由于晶体是经guo掺杂的,一个重要的电学性能检查是导电类型(N型或者P型),以保zheng使yong了正que的掺杂物。而进入晶体的掺杂物数量由电阻lv测量来que定。

  滚mo定向一旦晶体在切ge块shang定好晶向,総uo刈胖峁鰉ochu一个参考面,zhe个参考面将hui在每个晶圆shangchu现,称之wei主参考面。对于更大直jing的晶圆,在晶体shangmochu一个槽yong来标识晶圆的晶向,觴ing┣榭鱿略诰?錽hangmochu一个jian单的ao槽来作weishengchan晶向的定wei。

  切片yong有jin刚石涂层的内圆刀片把晶圆从晶bangshang切下来,zhe些刀片是中xin有圆孔的bo圆钢片。对于大直jing的晶圆使yong线切ge可以保zhengxiao锥度的平整表面he最少量的刀口损失。

  mo片ban导体晶圆的表面要gui则没有切ge损伤,并qie要平整,平整度是xiao尺寸图片绝对必须的tiao件,先进的guang刻gong艺把所需的图案tou影到晶圆表面,如果表面不平整,将hui发shengniuqu。wei了保zheng晶圆的平整度,一般分weimo片he化学机械抛guang,mo片的主要mu的是wei了去除切片gong艺canliu的表面损伤。化学机械抛guang蕅ie约钚耘譯uang液在晶圆表面形cheng一层bo的二氧化硅,抛guang垫以持续的机械摩ca来去除氧化物,zhe样晶圆表面的高点被除掉,直到获de特别平整的表面。

  背面处理在许多情况下,晶圆的正面经guochong分的化学机械抛guang,而背面liu下粗糙或者fu蚀到guangliang的wai观。对于某些器件的使yong,背面可能hui收到特shu的处理而导zhi缺陷,我们称之wei背损伤,背损伤chanshengwei错的sheng长辐she进入晶圆,zhe些wei错现象属于陷阱,hui俘获制造gong艺中引入祄u梢贫痡in属li子污染,我们将俘获的guo程叫吸杂。一般背面处理技术有背面pensha,背面多晶层或氮化硅的沉淀等。

  边缘倒角he抛guang边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械gong艺,应yong化学抛guang进一bujiagong边缘,尽可能减少制造中的边缘崩边he损伤,边缘崩边he损伤hui导zhisui片或chengweiwei错线的hexin。晶圆在bao装之qian,还需要进xing最zhong的pinggu,然后进xing表层氧化防止运输guo程中的损伤he污染,最后进xingbao装。

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